अवयव आईसीपी के ढांकता हुआ नक़्क़ाशी के लिए लाभ ढांकता हुआ नक़्क़ाशी के अनुप्रयोगों ऑक्सफोर्ड उपकरण से उच्च घनत्व प्लाज्मा सिस्टम आईसीपी के आधार ऑक्सफोर्ड उपकरण से सिलिकॉन डाइऑक्साइड नक़्क़ाशी सिस्टम नक़्क़ाशी नेनो पैमाने सुविधाएँ आईसीपी का उपयोग हाइड्रोजन के साथ चयनात्मकता सुधार नक़्क़ाशी प्रक्रिया के दौरान आयन फ्लक्स और गैस रसायन विज्ञान नियंत्रण सारांश अवलोकन इस कागज ढांकता हुआ नक़्क़ाशी के विभिन्न पहलुओं की तुलना है.
